| 形狀 | 檢測方式 | 檢測距離 | 動作模態 | 導線長度 | 型號 |
|---|---|---|---|---|---|
 |
反射型 | 紅外線0～3mm | 有晶圓載具時ON | 2ｍ | EE-SPY801 2M |
 |
EE-SPY802 2M |
EE-SPY801 / 802
產品特色
晶圓載具的底座檢測
與導軌併用，設定底座位置
與晶圓載具的接觸面使用氟樹脂，耐藥品性能優異
採特有的光學系統，可安定檢測大部份的晶圓載具
可對抗環境光源的變調光方式
採用無塵纜線（無滑石粉）
本體
選購品（另售）
| 名稱 | 型號 |
|---|---|
| 導軌 | EE9-C01 |
| EE9-C02 |
| 型號 | EE- SPY801/802 | |
|---|---|---|
| 檢測距離(標準檢測物體) | 0～5mm(反射率90% 白色紙15×15mm2) 0～3mm(反射率10% 黑色紙15×15mm2) |
|
| 檢測物體 | 晶圓載具(透明體、不透明體) | |
| 動作指示燈 | 物體檢測時亮燈(橙色) | |
| 光源(峰值發光波長) | GaAs紅外線發光二極體 (940nm) | |
| 電源電壓 | DC12～24V±10% 漣波(p-p) 5%以下 | |
| 消耗電流 | 30mA以下 | |
| 控制輸出 | NPN開集極式輸出、DC5～24V、100mA以下、OFF電流0.5mA以下 殘留電壓：0.8V以下(負載電流100mA時) 殘留電壓：0.4V以下(負載電流40mA時) |
|
| 應答時間 | 5ms以下 | |
| 使用環境照度 | 受光面照度 白熾燈、太陽光：各3,000lx以下 | |
| 環境溫度範圍 | 動作時：-10～+55℃、保存時：-25～+65℃ (不結冰) | |
| 環境濕度範圍 | 動作時：5～85%RH、保存時：5～95%RH (不結露) | |
| 振動(耐久性) | 1～500Hz 單側振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3掃描、11min/掃描 | |
| 衝撃(耐久性) | 500m/s2 X、Y、 Z各方向 3次 | |
| 保護構造 | IEC規格 IP30 | |
| 連接方式 | 出線型(標準導線長2m) | |
| 重量(包裝狀態) | 本體(感測器)：約43g、選購品(導軌)：約9g | |
| 材質 | 外殼 | 四氟乙烯-乙烯共聚合體(ETFE) |
| 底板 | polybutylene terephthalate | |
| 附屬品 | 使用說明書 | |
（單位：mm）
本體
EE-SPY801型
EE-SPY802型
選購品（另售）
導軌
EE9-C01型
導軌
EE9-C02型
中文
| 型錄名稱 | 型錄編號 [容量] |
更新日期 | |
|---|---|---|---|
 EE-SPY801/802 規格說明書 |
- [1186KB] |
2015年7月27日
20150727
|
EE-SPY801/802 規格說明書 |
English
Global Edition
| Catalog Name | Catalog Number [size] |
Last Update | |
|---|---|---|---|
| EE-SPY801/SPY802 Data Sheet |
- [358KB] |
Aug 24, 2012
20120824
|
EE-SPY801/SPY802 Data Sheet |
如有需要請洽各所營業人員
誠睿台南所 TEL：06-2493086
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